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真空技术原理

 

 

 

 

马略特定律

如果给予定量的气体体积面增加,它的气压就会减小。

这种方法可用于产生真空,在下一章我们将讨论到一个3叶片旋转真空泵的真空产生器和油套管在粗真空泵中的必须性。

 

真空发电机

偏心转子在具有入口和出口以及排气阀的壳体(定子)中转动。 3个叶片在转子中滑动并且紧压在壳体上,将可变容积的三个隔间中的空间分开。

 

抽气


 

 

阶段1

体积A与需要真空的容器连通。

气体被吸入体积A,藉由它增加体积因而导致压降产生。

这是吸气阶段。

 

 

阶段 2

容积A与容器和出口隔离。体积A减小,发生气体压缩。

这是压缩阶段。

 

 

阶段 3

体积A与出口连通。这体积仍然在减小,我们有一个超压,此不足以打开排气阀。

这是超压阶段。

 

 

阶段 4

体积A仍然持续在减小和压力达到大气压。排气阀打开,气体排出。

这是排气阶段。

泵输送可冷凝蒸汽


注意:

在给定温度下,蒸汽只能压缩到饱和压力。例如在70℃(SOGEVAC泵的工作温度)下,水的饱和压力为320毫巴;这意味着水蒸汽可以压缩到320毫巴,之后水开始凝结。在装有水的容器中,空气被快速抽出,容器中的压力是水蒸气之一。

 

阶段 1

体积A与容器连通,并且体积增加,蒸汽吸入发生。

这是抽吸阶段。

 

 

阶段 2

容积A与容器和排气口隔离。体积A减小,蒸汽被压缩。但由于此阶段的压力通常超过320毫巴,因此冷凝开始。

没有被压缩但是冷凝。

 

 

阶段 3

容积A与排气口和压力连通。不超过320毫巴的水在液相中停留在泵中并与油混合。

因此:含有油的乳液中的水会失去润滑性。机油滤清器堵塞,泵可能会损坏。

结论:蒸气不能泵送。为防止出现这种问题,必须使用气镇阀。

单位换算

 

From
To
Pa (N / m2 ) Torr ( mmHg ) atm mbar psi ( bf / in2 ) kgf / cm2 mH2O(15o )
1Pa ( N / m2 ) 1 7.50 x 10-3 9.87 x 10-6 10-2 1.45 x 10-4 1.02 x 10-5 1.02 x 10-4
1Torr ( mmHg ) 133.32 1 1.316 x 10-3 1.33 1.93 x 10-2 1.359 x 10-3 1.36 x 10-2
1 atm 1.013 x 105 760 1 1.013 x 103 14.696 1.033 10.34
1 mbar 100 0.750 9.87 x 10-4 1 1.45 x 10-2 1.02 x 10-3 10.206 x 10-3
1 psi ( bf / in2 ) 6.89 x 103 51.71 6.8 x 10-2 68.9 1 7.031 x 10-2 0.703
1 kgf / cm2 9.8 x 104 735.56 0.968 9.81 x 10-2 14.223 1 10
1 mH2O 9.8 x 103 73.49 9.68 x 10-2 98.0 1.421 0.1 1